從廣東省質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局官網(wǎng)獲悉，隨著納米科技及微加工領(lǐng)域的發(fā)展，對微米到納米尺度范圍的測試精度要求也越來越高，廣東計量院緊緊圍繞領(lǐng)域發(fā)展需要，針對性地開展實用性計量科研工作，實現(xiàn)了各種掃描電子顯微鏡（SEM）、透射電子顯微鏡、X射線衍射儀、等微納精密分析儀器量值的準(zhǔn)確溯源。本文由上海法鳴流體設(shè)備有限公司轉(zhuǎn)載發(fā)布。上海法鳴流體專業(yè)代理意大利CIMM進口膨脹罐,進口穩(wěn)壓罐,進口壓力罐,進口氣壓罐,定壓補水裝置等在中國的銷售，歡迎訪問官網(wǎng)查詢具體產(chǎn)品信息。
一是解決量傳溯源問題。完成了國家質(zhì)檢總局科研項目“微納米薄膜厚度的量值溯源及膜厚測量儀器校準(zhǔn)技術(shù)研究”和省科技廳科研項目“微納米尺度薄膜臺階標(biāo)樣及膜厚量傳體系研究”，成功研制出微納米線寬標(biāo)準(zhǔn)樣板、納米臺階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板、薄膜厚度標(biāo)準(zhǔn)樣品等，可用于掃描電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、X射線熒光測厚儀的校準(zhǔn)。并在此基礎(chǔ)上在國內(nèi)率先建立掃描探針顯微鏡、X射線熒光測厚儀校準(zhǔn)兩項大區(qū)級計量標(biāo)準(zhǔn)，基本解決了華南地區(qū)該類微納尺度儀器的溯源問題。
二是技術(shù)水平接軌國際基準(zhǔn)。積極參與國家科技支撐計劃項目“微納技術(shù)計量標(biāo)準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究”，協(xié)助國家計量院開展計量型掃描電鏡及雙探針掃描探針顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)測量裝置的研究，在國內(nèi)首次實現(xiàn)掃描電鏡的測量結(jié)果直接溯源至國際米定義激光波長基準(zhǔn)，同時利用雙探針測量模式，突破探針顯微鏡的測量盲區(qū)，實現(xiàn)了真三維納米結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)確測量。
三是服務(wù)產(chǎn)業(yè)促轉(zhuǎn)型升級。經(jīng)校準(zhǔn)的掃描電子顯微鏡、X射線熒光測厚儀等高端分析儀器，有利于促進企業(yè)控制產(chǎn)品質(zhì)量、高效生產(chǎn)和研發(fā)。目前，已為華南地區(qū)的微電子、超精密加工、新材料以及汽車制造產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域共150多家企業(yè)提供了有效的量傳溯源服務(wù)，為TCL王牌電器、深圳比亞迪汽車、廣州本田汽車、鴻富晉精密工業(yè)等知名企業(yè)產(chǎn)品的轉(zhuǎn)型升級提供了有效技術(shù)支撐。如國家級高新技術(shù)企業(yè)深圳華星光電在液晶顯示面板的研發(fā)過程中存在精密元器件量值不確定的問題，一直沒有攻關(guān)成功，后經(jīng)廣東計量院對其微觀分析儀器進行了校準(zhǔn)和溯源服務(wù)，確保儀器測量結(jié)果的準(zhǔn)確可靠，促成了該企業(yè)高端液晶面板的開發(fā)。 (郭雯雯)
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